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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

工程项目后台 某门头半导体设备会导致公司企业靠近长四角地,基本出产晶圆和集成ic。在出产全过程中,晶圆裁割和打磨抛光价段会导致大量研磨抛光液生活污水,每日减排量约50吨。因为生活污池中富含柠檬酸铵值浮动物、材料铝离子及有机酸加剂,直接性减排会对氛围会导致情况严重弄脏,公司企业急缺制作专业技术加工措施。 生活污水材料及收入 打磨液焦化废水重要是的来原于晶圆工艺中的化学上的机械厂镜面抛光(CMP)制作工艺,重要是水污渍分为: 悬屏颗粒剂物 :二防防氧化硅、防防氧化铝粉等研磨抛光粒子,粒度在0.1-1μm,浓硫酸浓度高达mg2000mg/L。 轻金属铝离子 :铜、铁、锌等,出于抛光处理垫破损及晶圆界面轻金属层,铜铝离子密度约50mg/L。 充分更改剂 :比如外壁渗透性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。 耐酸酸性物品 :pH值跌涨大,一般在2-11两者之间。 加工处理工艺环节环节 应对污废水 优点,运用“预处里+生物化+层次处里”搭档制作工艺: 调准池 :义均水硬度出水量,加上酸性控制pH至弱酸性。 混凝土水解 :污泥脱水PAC(配位聚氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),我们要除飘浮物和悬浊液,沉降后SS我们要除率>90%。 崔化氧化物 :用于Fenton微生物培养基(H₂O₂+Fe²⁺)可降解巧妙含有剂,COD的还原率达60%。 生物技术工作 :MBR膜菌物响应器进那步光降解用不完有机酸物,COD降为100mg/L下面。 阴阳离子相互交换 :专业化硅胶粘合剂溶解铜阳离子,留水铜含锌量<0.5mg/L。 砂滤+生物炭滤过 :以保证出液浑浊,满足《脏水整合直接污水排放标规定》(GB8978-1996)七级标规定。 终极功效 整体自动运行可靠后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜亚铁离子<0.3mg/L。 使用率达40%,剩于达到排污,年缩短废污水排污1.6万吨。 治理投入约15元/吨,远超过市场峰值。

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