该厂为8英尺晶圆种植线配套方案的超去离子水机系统，每周发生含硅废渣150吨。废渣中虽无巨资属，但硅含量高易结渣，且电阻功率率需高于18MΩ·cm可以回收。原本有操作工艺设备始终无法 做到新制定的《微电子化工业水被废弃物排出的标准》（GB39731-2020）尤为排出最大限度。 废水处理工艺有效成分显著特点 其主要的有害物质 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、粒子硅（粒度0.1-1μm） 特殊的符合要求 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 水质检测特点 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物特征麻烦 解决方法程序 改革创新用"梯级膜分離+电去铁离子"三人组合方法： 微滤预净化处理 ：1μm瓷砖膜截拦大顆粒硅，通量形成80LMH 正离子对换树酯 ：D201大孔聚酯树脂挑选性吸硅酸分子式 两级RO系统 ：首先段收回率60%，二段进行高脱硼膜电子器件 EDI电去铝离子 ：直流电压溶解度2A/m²，不断地除去的残留物铝离子 紫外光除臭 ：254nm太阳光的太阳辐射线服用量40mJ/cm² 技木新亮点 开发管理专用的阻硅剂（有机的胺类分手后复合物），延长膜破坏阶段3倍 EDI模组企业创新流道设汁，硅除掉率改善至99.8% 手机在线硅阐述仪（测试空间0.1-500μg/L）改变脱贫掌握 启动举措 经最后方验测： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含量从8μg/L减少为0.3μg/L 程序收回率从原40%优化至68% 膜替换周期性延缓至5年，年行驶投资成本减小35%