佛山某半导心片创造厂，晶圆手工加工进程中产生了含硅、氟的特定废液，结构设计解决数量1200吨/日。废液成分表多样化，包含有納米级硅颗料及盐酸，传统意义解决方法步骤不易于未达标。 废气成份及因素 常见感染物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒度分布）、氟亚铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 源头环节 ：晶圆刻蚀工业废气（45%）、CMP药剂学机械性cnc精密机械加工工业废气（40%）、机 洗水（15%） 治疗工序工作流程 枝术创新采用了"无机化学积累+特殊工种膜溶合"枝术交通路线： 钙盐沉积 ：加药氯化钙我们要除氟阴离子（转换成CaF2发展） 斜管沉淀池发应 ：混合斜板沉淀池剂达成电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm口径膜虚报冒领微细科粒 反固化装置 ：脱盐率>98%，的回收利用率75% 多效蒸发凝结 ：浓水段构建氟化物零尾气排放标准 以后实际效果 氟化物质量浓度：<8mg/L（不高于祖国一级通过成绩原则10mg/L） 硅含铁：<5mg/L 水产品回收利用率：70%中用水冷却水塔补水保湿 垃圾减量化：蒸发掉食物残渣量较普通工序变少60%