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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体器件集成电路芯片开发厂在晶圆加工制作的时候中,选择硅烷通过硅概念生长期,尾气排放洗涤剂塔制造高氨水浓度含硅化工化工废水。化工化工废水存在pH起伏较大大(2-11)、硅量高的亮点,过去的治疗办法易有硅垢短路相关问题。 废水处理工艺组分及收入 废渣最主要的材料为: 消融性硅酸盐 :SiO₂有机废气浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢防氧化钠 :洗滌塔耐酸碱洗滌液无残留 颗粒状硅 :纳米级级SiO₂橡胶胶体部分 痕量砷 :原辅材料其它杂物带进去 加工处理艺环节 不断创新用于"有级与+膜滤水+多效蒸发心得"的工艺: 特级中合 :用CaO上下调整pH至4-5,导出硅酸钙石雕文化沉淀,硅快速清理率60%。 中级结合 :加Na₂CO₃将pH不断提升至9,进每一步沉淀物已用硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透膜系统的 :0.02μm瓷质膜进行过滤纳米级级硅颗料,通量稳定的在80LMH。 MVR化掉器 :萃取高盐化工废水,成果出Na₂SO₄副企业产品,水工业废水处理率超90%。 从而效用 总硅从1500mg/L降为5mg/L一下 砷浓度从0.8mg/L减至0.01mg/L 模式无积灰进行小于2年 年再利用盐酸钠晶胞约800吨

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