某半导体器件集成电路芯片开发厂在晶圆加工制作的时候中,选择硅烷通过硅概念生长期,尾气排放洗涤剂塔制造高氨水浓度含硅化工化工废水。化工化工废水存在pH起伏较大大(2-11)、硅量高的亮点,过去的治疗办法易有硅垢短路相关问题。
废水处理工艺组分及收入
废渣最主要的材料为:
消融性硅酸盐
:SiO₂有机废气浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢防氧化钠
:洗滌塔耐酸碱洗滌液无残留
颗粒状硅
:纳米级级SiO₂橡胶胶体部分
痕量砷
:原辅材料其它杂物带进去
加工处理艺环节
不断创新用于"有级与+膜滤水+多效蒸发心得"的工艺:
特级中合
:用CaO上下调整pH至4-5,导出硅酸钙石雕文化沉淀,硅快速清理率60%。
中级结合
:加Na₂CO₃将pH不断提升至9,进每一步沉淀物已用硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透膜系统的
:0.02μm瓷质膜进行过滤纳米级级硅颗料,通量稳定的在80LMH。
MVR化掉器
:萃取高盐化工废水,成果出Na₂SO₄副企业产品,水工业废水处理率超90%。
从而效用
总硅从1500mg/L降为5mg/L一下
砷浓度从0.8mg/L减至0.01mg/L
模式无积灰进行小于2年
年再利用盐酸钠晶胞约800吨