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硅片清洗废水怎么处理方法|硅片清洗废水处理案例

该厂家年产量2万吨地球能级多晶硅,酸洗工艺工段引起含HF废液(pH≈1.5,氟阴离子氧浓度1200mg/L),本省节能岗位规范做到废液零进行排放。大型项目需很好解决氟化物深度1快速清理与分质凝结难以解决的问题。 废气属性分折 偏酸极大 :需消耗量很多与药品 氟形态特征繁杂 :含HF、H2SiF6、SiF6²⁻等几种长期存在内容 含硅胶制品体 :变成稳定可靠的SiO2·nH2O电解质溶液组织体制 治理 新工艺过程 分时间段开展"化学反应沉淀出的+MVR挥发+冰冻心得"技术水平的路线: 两极钙盐积累 : 1阶段加药Ca(OH)2至pH=3,转化成CaF2(孔径10-15μm) 下级加药系统CaCl2+Al2(SO4)3,氟化物降低15mg/L 管式微滤 :0.1μm口径PTFE膜,挪用放置物 MVR汽化器 : 再空调压缩机温度升高8℃,蒸发掉水压25kPa 冷凝器水TDS<50mg/L回收 冰冻析出平台 : 比较慢室内降温至-5℃,挥发Na2SiF6晶胞(溶解度>92%) 粗糙包装箱 :结晶体充当副好产品外售 至关重要技木转型升级 发展系数pH控制法,才能减少CaF2快递包裹后果 挥发母液流入至析出段,建立高价属含有隔离 用于316L不锈钢装饰管+无定形碳硅防锈的材质回应HF灼伤 工程项目成效 氟化物我们要除率99.9%,晶体盐达到《工业化氟化钠》(HG/T5192-2017)细则 蒸发器冷疑水都循环,每季度碳排放生活污水5.20万吨 副新产品经销商收入水平相抵30%运营的成本 技术水平相对较与挑选意见与建议 使用三种典型示范例可以说,硅片洗废液处置需会根据特定水质监测作用选取工艺设计: 废渣结构类型 层面难题 安利制作工艺女子组合 投资成本投资成本(元/吨水) 切割机机磨电镀废水 高SS、COD 沥青混凝土+Fenton+MBR 2.8-3.3万 超去离子水提纯废渣 溶液硅、微量分析硼 阳离子调换+五级RO+EDI 4.2-5.0万 磷化处理污废水 高氟、强氧化剂 钙盐放置+MVR+冷冻熟食析出 6.0-8.0万 实践工业中需特别决定: 硅形式探讨 :顺利通过29Si NMR谱图鉴定硅无机化合物有着主要形式 膜被污染的设定 :对应硅空气污染所采用高zeta电势差膜用料 物资化渠道 :氟化钙发展物能加工行为低调造萤石 较新的方法设备的制造业现状英文显现,电离子液体防氧化方法设备对难挥发有机化学上的硅弄掉率相当于90%,而AI的药液加药操纵系统性能有效降低15-20%的化学上的的药液总量,此类多元化方法设备时未制造业试点工作中印证应该用使用效果。

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