该厂家年产量2万吨地球能级多晶硅,酸洗工艺工段引起含HF废液(pH≈1.5,氟阴离子氧浓度1200mg/L),本省节能岗位规范做到废液零进行排放。大型项目需很好解决氟化物深度1快速清理与分质凝结难以解决的问题。
废气属性分折
偏酸极大
:需消耗量很多与药品
氟形态特征繁杂
:含HF、H2SiF6、SiF6²⁻等几种长期存在内容
含硅胶制品体
:变成稳定可靠的SiO2·nH2O电解质溶液组织体制
治理 新工艺过程
分时间段开展"化学反应沉淀出的+MVR挥发+冰冻心得"技术水平的路线:
两极钙盐积累
:
1阶段加药Ca(OH)2至pH=3,转化成CaF2(孔径10-15μm)
下级加药系统CaCl2+Al2(SO4)3,氟化物降低15mg/L
管式微滤
:0.1μm口径PTFE膜,挪用放置物
MVR汽化器
:
再空调压缩机温度升高8℃,蒸发掉水压25kPa
冷凝器水TDS<50mg/L回收
冰冻析出平台
:
比较慢室内降温至-5℃,挥发Na2SiF6晶胞(溶解度>92%)
粗糙包装箱
:结晶体充当副好产品外售
至关重要技木转型升级
发展系数pH控制法,才能减少CaF2快递包裹后果
挥发母液流入至析出段,建立高价属含有隔离
用于316L不锈钢装饰管+无定形碳硅防锈的材质回应HF灼伤
工程项目成效
氟化物我们要除率99.9%,晶体盐达到《工业化氟化钠》(HG/T5192-2017)细则
蒸发器冷疑水都循环,每季度碳排放生活污水5.20万吨
副新产品经销商收入水平相抵30%运营的成本
技术水平相对较与挑选意见与建议
使用三种典型示范例可以说,硅片洗废液处置需会根据特定水质监测作用选取工艺设计:
废渣结构类型
层面难题
安利制作工艺女子组合
投资成本投资成本(元/吨水)
切割机机磨电镀废水
高SS、COD
沥青混凝土+Fenton+MBR
2.8-3.3万
超去离子水提纯废渣
溶液硅、微量分析硼
阳离子调换+五级RO+EDI
4.2-5.0万
磷化处理污废水
高氟、强氧化剂
钙盐放置+MVR+冷冻熟食析出
6.0-8.0万
实践工业中需特别决定:
硅形式探讨
:顺利通过29Si NMR谱图鉴定硅无机化合物有着主要形式
膜被污染的设定
:对应硅空气污染所采用高zeta电势差膜用料
物资化渠道
:氟化钙发展物能加工行为低调造萤石
较新的方法设备的制造业现状英文显现,电离子液体防氧化方法设备对难挥发有机化学上的硅弄掉率相当于90%,而AI的药液加药操纵系统性能有效降低15-20%的化学上的的药液总量,此类多元化方法设备时未制造业试点工作中印证应该用使用效果。